數(shù)據(jù)分析
? 支持csv、log、std文件導(dǎo)入
? 可進(jìn)行單個文件、多個同類的文件的疊加,實(shí)現(xiàn)正態(tài)分布等圖形化分析,導(dǎo)出excel報(bào)告
? 和MES、EAP連接,自動導(dǎo)入計(jì)算CPK、MEAN、STDEV,和參數(shù)的預(yù)定閾值進(jìn)行比較,實(shí)現(xiàn)lot過站時(shí)的自動判定。通過自動化計(jì)算的過程管控,提高芯片設(shè)計(jì)外包生產(chǎn)的聯(lián)動效率和質(zhì)量
map處理
? 支持map格式轉(zhuǎn)換
? 支持map工序的疊加,手工點(diǎn)除
? 支持PAT、GBDN、Cluster等map手動和批量處理
? 支持按照wafer id生成測試報(bào)告